Британская компания Barden поставила прецизионные подшипники клиенту в Юго-Восточной Азии для установки на эллипсометрическом
оборудовании, проверяющем целостность тонкопленочного покрытия пластин жестких дисков.
Новейшие подшипниковые узлы, изготовленные на заказ, содержат пару двухрядных радиально-упорных подшипников в корпусе
и готовы к установке на эллипсометрическое оборудование. Эти прецизионные подшипники смазываются маслом,
имеют малый момент трения и высокую точность вращения даже на небольшой скорости, а их кольца и шарики изготовлены
из нержавеющей стали. Точность изготовления сверхпрецизионная, превышающая стандарт ABEC 7. Двухрядные
радиально-упорные шариковые подшипники малого поперечного сечения имеют наружный диаметр 28,5 мм, диаметр отверстия 19 мм и ширину колец 9 мм.
Данное решение было разработано под заказ на заводе Barden в Плимуте, графство Девон, Великобритания.
Туда был доставлен корпус эллипсометра для того, чтобы максимально точно подогнать к нему размеры подшипников.
Готовые прецизионные подшипниковые узлы были отправлены заказчику полностью собранными, с фланцем,
чтобы клиент мог быстро и просто установить их на вертикальный вал эллипсометра.
Пластины жестких дисков покрываются очень тонкой магнитной пленкой, целостность и однородность которой
проверяется эллипсометром. В нем используется лазерный луч или поляризованный свет, которым сканируется
поверхность диска для определения толщины покрытия с нанометровой точностью. Проверка с помощью
эллипсометра проводится сразу после нанесения покрытия на пластину, перед сборкой жесткого диска.
Неподвижный источник света проверяет поверхность одного диска, затем он сменяется следующим диском и т.д.,
поэтому необходимо обеспечить единообразие при непрерывном проведении измерений.
По словам представителей Barden, заказчик очень часто сталкивался с отказами подшипников на поворотном
столе эллипсометра. Это были стандартные подшипники малого поперечного сечения с преднатягом для
предотвращения люфта. Их серьезным недостатком был слишком большой момент трения. Поэтому клиент
запросил новые подшипники Barden улучшенной конструкции с меньшим моментом трения и высокой
точностью работы. При решении поставленной задачи специалисты компании рассмотрели предыдущую
конфигурацию и предложили новое решение, предполагающее установку корпуса эллипсометра
на подшипниковый узел. Это позволило легко и быстро установить весь узел в сборе вместо
старого и точно выровнять его. Кроме того, такая конструкция позволяет уменьшить
объем необходимого техобслуживания, следовательно, обеспечивает более высокую степень чистоты и повышение надежности оборудования.
Так как условия работы предусматривают вращение с небольшой скоростью, а также необходимость
низкого момента трения, эти прецизионные подшипники Barden оснащены специальным тороидальным
сепаратором из политетрафторэтилена (тефлона), который удерживает шарики из нержавеющей стали.
